株式会社 Subna            

Subna Company 

Soler cell and EUV technologies

Subnaは太陽電池とEUV関連技術の会社です。太陽電池は普及が地球規模の課題となっています。EUVは波長13.5nmの極端紫外線で、最先端LSIの露光装置の光源として実用に供されています。

Subna is a solar cell and EUV related technology company.Widespread use of solar cells is a global issue.EUV is an extreme ultraviolet ray with a wavelength of 13.5 nm, and is practically used as a light source for exposure equipment for cutting-edge LSIs.

当社のねがい

Our wishes

太陽電池の普及には、高効率化や低価格化など、やるべき課題が多く残されています。EUV (Extreme ultraviolet) の光学系は精密な精度が要求されます。例えばミラーの構造はナノメートル以下の精度が求められています。Sub-nanometer、これが当社名の由来です。そして、これらの課題解決への貢献が当社のねがいです。

There are still many issues to be addressed for the widespread use of solar cells, such as high efficiency and cost reduction.EUV (Extreme ultraviolet) optical systems require precise accuracy.For example, the structure of mirrors is required to have sub-nanometer precision.Sub-nanometer, this is the origin of our company name.And it is our desire to contribute to the resolution of these issues.

Mo/Si多層膜ミラーの反射率

Reflectance of Mo/Si multilayer mirror